摘要：介紹了硅棒在線切割后的脫膠工藝技術，分析了硅片脫膠的技術發展和難點，通過介紹主要工藝設備的工作原理來剖析脫膠技術的現狀以及未來發展的趨勢。
硅片(pian)(pian)表面的(de)潔(jie)凈度(du)是影(ying)響硅片(pian)(pian)合格率(lv)(lv)和(he)電(dian)池轉換效率(lv)(lv)的(de)關鍵因素。為獲得潔(jie)凈度(du)高(gao)的(de)硅片(pian)(pian)，往(wang)往(wang)硅片(pian)(pian)在經過線切割后需經過脫(tuo)膠(jiao)清(qing)(qing)洗(xi)和(he)精細清(qing)(qing)洗(xi)兩個部分，而作為第一道清(qing)(qing)洗(xi)工(gong)序的(de)脫(tuo)膠(jiao)清(qing)(qing)洗(xi)雖(sui)然(ran)沒有切割工(gong)藝要求那么(me)高(gao)，但(dan)也(ye)是獲得潔(jie)凈片(pian)(pian)的(de)重要工(gong)序，其清(qing)(qing)洗(xi)過程涉及到物(wu)理、化學(xue)、超聲等多(duo)種學(xue)科。
1 硅片脫膠的工藝過程
硅(gui)(gui)片(pian)(pian)脫(tuo)膠（預清洗）主(zhu)要分為兩個部分，首先是通過物理(li)方法(fa)，諸如噴淋清洗、超聲清洗、溢(yi)流清洗等，先將硅(gui)(gui)片(pian)(pian)表面(mian)附著(zhu)的(de)(de)金屬粉(fen)末、硅(gui)(gui)粉(fen)、碳化(hua)(hua)硅(gui)(gui)、切割懸(xuan)浮液(ye)等雜(za)質去除，然后對(dui)硅(gui)(gui)片(pian)(pian)進(jin)行脫(tuo)膠處理(li)，脫(tuo)膠時(shi)(shi)所需的(de)(de)液(ye)體溫(wen)度(du)根據所使(shi)用的(de)(de)膠水來定，其(qi)原理(li)是膠水在(zai)一(yi)定的(de)(de)溫(wen)度(du)范圍(wei)內會軟化(hua)(hua)，硅(gui)(gui)片(pian)(pian)自動(dong)從晶拖上脫(tuo)落，同時(shi)(shi)在(zai)熱水中加入乳酸或者(zhe)檸檬酸可(ke)將膠水軟化(hua)(hua)的(de)(de)時(shi)(shi)間(jian)縮(suo)短，同時(shi)(shi)可(ke)以對(dui)硅(gui)(gui)片(pian)(pian)表面(mian)的(de)(de)損傷層進(jin)行粗拋，也防止(zhi)了硅(gui)(gui)片(pian)(pian)在(zai)高(gao)溫(wen)情況(kuang)下發生(sheng)氧化(hua)(hua)。
2 脫膠過程中涉及到的雜質
2.1切割懸浮液
主(zhu)要(yao)(yao)成分為(wei)聚乙(yi)(yi)二(er)醇（PEG），是一(yi)種無色透明的(de)(de)黏(nian)性液體(ti)，在(zai)進行(xing)線切(qie)割時，主(zhu)要(yao)(yao)是由(you)(you)打漿(jiang)(jiang)機將(jiang)聚乙(yi)(yi)二(er)醇和碳(tan)(tan)化(hua)(hua)硅粉（SiC）充分混合成為(wei)“砂(sha)漿(jiang)(jiang)”，砂(sha)漿(jiang)(jiang)比(bi)例依據不(bu)同(tong)的(de)(de)機型和不(bu)同(tong)廠家的(de)(de)PEG和SiC而定，目前國內的(de)(de)砂(sha)漿(jiang)(jiang)密度在(zai)1.62～1.65之間。整個切(qie)割過程都是由(you)(you)鋼絲通過表面張力(li)附著(zhu)著(zhu)砂(sha)漿(jiang)(jiang)，通過碳(tan)(tan)化(hua)(hua)硅粉對硅棒不(bu)斷的(de)(de)研磨，最終切(qie)成硅片。
2.2硅粉和金屬離子
在切割過程(cheng)(cheng)中(zhong)會產生硅(gui)粉和碎(sui)末(mo)，其實就(jiu)是切割過程(cheng)(cheng)中(zhong)鋼絲在研(yan)磨(mo)硅(gui)棒時磨(mo)掉(diao)的硅(gui)顆粒，以及(ji)在此過程(cheng)(cheng)中(zhong)分解的金屬離子。
2.3乳酸等輔助酸液
通(tong)常在脫膠的過程中會(hui)加入一些弱酸(suan)，縮短脫膠的時間，混合比(bi)例通(tong)常為1∶2。
2.4硅片上的膠體
硅棒與晶拖的(de)(de)固定通(tong)常是用膠(jiao)水(shui)來實現的(de)(de)，目的(de)(de)是使(shi)硅棒在切割過程(cheng)中不移動。一般國內工(gong)廠(chang)使(shi)用的(de)(de)都是俗稱(cheng)“美國膠(jiao)”的(de)(de)環氧(yang)樹脂VALTON，即(ji)AB膠(jiao)。
3 影響硅片脫膠的因素
脫膠(jiao)(jiao)清洗與噴(pen)(pen)淋(lin)壓(ya)力、環(huan)(huan)境溫(wen)度(du)(du)、酸的(de)(de)(de)(de)濃度(du)(du)和(he)溫(wen)度(du)(du)、以(yi)及時(shi)間有一(yi)(yi)定的(de)(de)(de)(de)關系，噴(pen)(pen)淋(lin)的(de)(de)(de)(de)壓(ya)力要(yao)控(kong)制(zhi)在(zai)(zai)2～3MPa之(zhi)間，壓(ya)力不(bu)足會(hui)(hui)使得砂漿難以(yi)沖(chong)洗干(gan)凈(jing)，所以(yi)噴(pen)(pen)淋(lin)泵的(de)(de)(de)(de)選擇尤為(wei)重要(yao)；環(huan)(huan)境溫(wen)度(du)(du)要(yao)控(kong)制(zhi)在(zai)(zai)20℃～25℃之(zhi)間，環(huan)(huan)境溫(wen)度(du)(du)太低(di)也會(hui)(hui)影(ying)響砂漿的(de)(de)(de)(de)脫離，所以(yi)好的(de)(de)(de)(de)設備會(hui)(hui)在(zai)(zai)噴(pen)(pen)淋(lin)前加(jia)(jia)一(yi)(yi)道在(zai)(zai)線加(jia)(jia)熱工序，保證在(zai)(zai)環(huan)(huan)境溫(wen)度(du)(du)較低(di)的(de)(de)(de)(de)情況下對(dui)砂漿的(de)(de)(de)(de)清洗效(xiao)果(guo)；酸的(de)(de)(de)(de)濃度(du)(du)和(he)溫(wen)度(du)(du)是脫膠(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)關鍵，一(yi)(yi)般工廠使用的(de)(de)(de)(de)都是乳酸，比例(li)在(zai)(zai)1∶2合(he)適(shi)，溫(wen)度(du)(du)控(kong)制(zhi)在(zai)(zai)70℃左(zuo)右，在(zai)(zai)遇到(dao)不(bu)好脫的(de)(de)(de)(de)膠(jiao)(jiao)時(shi)適(shi)當(dang)的(de)(de)(de)(de)增(zeng)加(jia)(jia)酸的(de)(de)(de)(de)濃度(du)(du)和(he)提高酸液溫(wen)度(du)(du)可起到(dao)較好的(de)(de)(de)(de)效(xiao)果(guo)，脫膠(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)時(shi)間不(bu)宜(yi)太長，一(yi)(yi)般控(kong)制(zhi)在(zai)(zai)800～900s，時(shi)間過長會(hui)(hui)腐蝕(shi)到(dao)硅片的(de)(de)(de)(de)表面(mian)，反而影(ying)響下一(yi)(yi)步植絨的(de)(de)(de)(de)質量(liang)。
4 脫膠技術的發展過程
4.1手工脫膠
手工(gong)沖(chong)(chong)洗(xi)硅棒(bang)是成(cheng)本最低(di)的(de)(de)(de)一(yi)種方(fang)式(shi)，通過(guo)水槍在硅棒(bang)表(biao)面的(de)(de)(de)來回(hui)沖(chong)(chong)洗(xi)達到(dao)洗(xi)凈硅片的(de)(de)(de)目(mu)的(de)(de)(de)，待砂漿沖(chong)(chong)洗(xi)完畢后（通過(guo)肉(rou)眼觀測），再將硅棒(bang)放(fang)入酸槽內進(jin)行脫(tuo)膠(jiao)(jiao)處理。其(qi)缺點是效率低(di)，沒有標準(zhun)控制整(zheng)個脫(tuo)膠(jiao)(jiao)過(guo)程，線鋸(ju)的(de)(de)(de)成(cheng)本很(hen)高，但人工(gong)操作會影響其(qi)碎片率，也(ye)就(jiu)起不到(dao)整(zheng)個生產鏈節約成(cheng)本的(de)(de)(de)目(mu)的(de)(de)(de)，整(zheng)個過(guo)程對人和環(huan)境也(ye)有一(yi)定的(de)(de)(de)傷害，所以大廠已經淘汰了手工(gong)沖(chong)(chong)洗(xi)的(de)(de)(de)方(fang)式(shi)，在個別小廠還可以見到(dao)手工(gong)沖(chong)(chong)洗(xi)的(de)(de)(de)方(fang)式(shi)。
4.2全自動脫膠
自動脫膠是目前脫膠工藝環節的主要生產方式，其自動化程度高，可控性好，生產效率高，極大地降低了硅片的碎片率，為廠家節約了生產成本。目前市場上國產的全自動硅片脫膠機主要的生產流程是沖洗、超聲和加熱脫膠，其性價比要比進口的脫膠機要高很多，所以在脫膠清洗這一環節上基本都被國產設備所代替，但在一些關鍵技術和設備的能耗上，國產設備和進口設備還有一定的差距。全自動脫膠機在進行脫膠清洗前都需將切割完的硅棒放置在特制的籃具上面，然后在通過機械手實現硅棒在每個工藝槽的生產。不同的廠家針對不同的機械手結構和工藝槽結構會有不同構造的籃具，但基本功能均相同，圖1為由中國電子科技集團公司第二研究所生產的籃具。脫膠機的第一步是噴淋沖洗，去除的主要是砂漿，砂漿具(ju)有一定的(de)(de)(de)(de)(de)黏(nian)性，而(er)且(qie)硅片與硅片之(zhi)間的(de)(de)(de)(de)(de)距離很小，所(suo)以(yi)對(dui)噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)管有特(te)殊的(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求，傳統的(de)(de)(de)(de)(de)圖1硅棒籃(lan)示意圖噴(pen)(pen)(pen)(pen)嘴噴(pen)(pen)(pen)(pen)出的(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)往(wang)往(wang)帶有霧化的(de)(de)(de)(de)(de)效果，所(suo)以(yi)噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)的(de)(de)(de)(de)(de)效果不是(shi)很好，現在(zai)多(duo)數(shu)廠家采用的(de)(de)(de)(de)(de)是(shi)多(duo)槽噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)來克(ke)服這一缺(que)陷，我公司生(sheng)產的(de)(de)(de)(de)(de)噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)管為特(te)殊加工的(de)(de)(de)(de)(de)噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)管，噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)管上密(mi)(mi)集(ji)地排列著直徑為1mm的(de)(de)(de)(de)(de)小眼，噴(pen)(pen)(pen)(pen)出密(mi)(mi)集(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)簾，這個(ge)過程需要(yao)配(pei)備儲液桶和噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)泵，并且(qie)噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)槽的(de)(de)(de)(de)(de)噴(pen)(pen)(pen)(pen)淋(lin)(lin)管可以(yi)通過氣缸進行旋轉，使得噴(pen)(pen)(pen)(pen)出的(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)簾可以(yi)覆蓋硅棒的(de)(de)(de)(de)(de)全(quan)部(bu)，槽體如圖2所(suo)示。
進(jin)(jin)口設(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)噴淋管(guan)做(zuo)(zuo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)更(geng)精致一(yi)(yi)些，出(chu)水(shui)簾要(yao)更(geng)好更(geng)均(jun)勻(yun)一(yi)(yi)些，有的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)還(huan)配備(bei)(bei)了(le)(le)籃具(ju)旋轉功能(neng)，使得噴淋的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)時間和效果更(geng)好，減少耗水(shui)量，也(ye)有的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)公司生(sheng)(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)脫膠設(she)備(bei)(bei)為在(zai)線式噴淋，可(ke)以增加設(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)產(chan)能(neng)。同時設(she)備(bei)(bei)還(huan)選配了(le)(le)在(zai)線式加熱器(qi)對噴淋前(qian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)進(jin)(jin)行(xing)預熱，功率(lv)為50kW左(zuo)右，這(zhe)樣(yang)做(zuo)(zuo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)目(mu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)是解決冬天(tian)溫度較低(di)時砂(sha)漿不容易脫落的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)情況。第二步往(wang)往(wang)配備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)是超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)清(qing)洗，通(tong)過超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)震(zhen)板振動在(zai)液體(ti)中形成極微小的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣泡(pao)(pao)(pao)而(er)這(zhe)些氣泡(pao)(pao)(pao)快速地崩潰而(er)產(chan)生(sheng)(sheng)極微小的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)擦洗動作(zuo)(zuo)而(er)除去顆粒(li)。超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)波清(qing)洗技術是使用(yong)物理技術來去除粒(li)徑≥0.4μm顆粒(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)種(zhong)很好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法。超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)清(qing)洗的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)原理：在(zai)強烈(lie)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)波作(zuo)(zuo)用(yong)下（常用(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)波頻率(lv)為20kHz到(dao)40kHz），液體(ti)內部會產(chan)生(sheng)(sheng)疏部和密部，疏部產(chan)生(sheng)(sheng)近乎真(zhen)空(kong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)空(kong)腔泡(pao)(pao)(pao)，當空(kong)腔泡(pao)(pao)(pao)消失的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)瞬(shun)間，其附近便產(chan)生(sheng)(sheng)強大的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)局部壓力，使分子內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)化(hua)學(xue)鍵斷裂，因此(ci)使硅片表面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)雜(za)質(zhi)解吸。當超(chao)(chao)(chao)聲(sheng)(sheng)波的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)頻率(lv)和空(kong)腔泡(pao)(pao)(pao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)振動頻率(lv)共(gong)振時，機械(xie)作(zuo)(zuo)用(yong)力達到(dao)最(zui)大，泡(pao)(pao)(pao)內聚集的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)大量熱能(neng)，使溫度升高，促進(jin)(jin)化(hua)學(xue)反應的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)生(sheng)(sheng)。
第三(san)步是(shi)直接脫(tuo)膠(jiao)或者(zhe)在(zai)脫(tuo)膠(jiao)前增加(jia)一步溢(yi)流反沖洗槽(cao)(cao)(cao)，目的(de)是(shi)將超聲后附(fu)著在(zai)硅片表面砂漿的(de)顆(ke)粒物再沖洗一次，使脫(tuo)膠(jiao)前硅片的(de)潔(jie)凈度更好(hao)。脫(tuo)膠(jiao)槽(cao)(cao)(cao)配(pei)備有加(jia)熱(re)管(guan)，自動(dong)槽(cao)(cao)(cao)蓋(gai)以(yi)及獨立(li)抽(chou)風(feng)裝置(zhi)(zhi)，加(jia)熱(re)管(guan)加(jia)熱(re)到(dao)指定的(de)溫度，通過熱(re)電阻(zu)實現自動(dong)控(kong)溫，槽(cao)(cao)(cao)蓋(gai)是(shi)為(wei)了(le)防止酸(suan)氣(qi)的(de)溢(yi)出和(he)保持(chi)溫度的(de)恒定，而獨立(li)抽(chou)風(feng)裝置(zhi)(zhi)也是(shi)為(wei)了(le)放(fang)置(zhi)(zhi)酸(suan)氣(qi)的(de)溢(yi)出，而減(jian)少對(dui)人體和(he)環境(jing)的(de)危(wei)害。脫(tuo)膠(jiao)機(ji)的(de)整體構造大(da)致分(fen)為(wei)：主體鋼架，機(ji)械(xie)傳動(dong)裝置(zhi)(zhi)，工藝槽(cao)(cao)(cao)部(bu)(bu)分(fen)和(he)電氣(qi)控(kong)制(zhi)部(bu)(bu)分(fen)，通過不銹(xiu)鋼配(pei)合PP板材的(de)使用來達到(dao)整機(ji)的(de)防腐功(gong)能，設備頂部(bu)(bu)還配(pei)有抽(chou)風(feng)裝置(zhi)(zhi)，有效地控(kong)制(zhi)了(le)酸(suan)氣(qi)的(de)外溢(yi)。整個操作過程除上下料為(wei)手(shou)動(dong)操作外，其余過程全部(bu)(bu)為(wei)自動(dong)，并且人機(ji)界面實現了(le)對(dui)整個生產(chan)過程的(de)監控(kong)，方便操作。
5 未來脫膠技術的發展
未來脫(tuo)(tuo)膠機的(de)(de)發展(zhan)首先是(shi)基于全(quan)自動硅片(pian)脫(tuo)(tuo)膠機，是(shi)在其(qi)(qi)實現(xian)生產線式的(de)(de)生產前提下(xia)，對現(xian)有設備(bei)進行不斷的(de)(de)完善和功能上的(de)(de)補充，尤其(qi)(qi)是(shi)一些工藝細節上的(de)(de)完善。其(qi)(qi)發展(zhan)方向(xiang)主要分為：
（1）減少設(she)備(bei)能耗。噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)沖洗(xi)是(shi)一個耗水(shui)(shui)量(liang)較大的(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)藝過程，國產設(she)備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)耗水(shui)(shui)量(liang)大致在8m3/h左(zuo)右，要視噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)時間(jian)和砂漿(jiang)的(de)(de)(de)(de)(de)黏稠度而(er)定（考(kao)慮會使用回(hui)收漿(jiang)料），有的(de)(de)(de)(de)(de)廠(chang)家還(huan)選配(pei)了廢水(shui)(shui)回(hui)收裝置(zhi)，可以將部分噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)后的(de)(de)(de)(de)(de)廢水(shui)(shui)進行沉淀過濾再使用。進口設(she)備(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)耗水(shui)(shui)量(liang)大致在5m3/h左(zuo)右，其(qi)節(jie)水(shui)(shui)的(de)(de)(de)(de)(de)關鍵就是(shi)在噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)管的(de)(de)(de)(de)(de)設(she)計和噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)槽(cao)內機(ji)械結構的(de)(de)(de)(de)(de)設(she)計，通(tong)(tong)過增加(jia)(jia)輔助裝置(zhi)來實現短時間(jian)噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)的(de)(de)(de)(de)(de)目(mu)的(de)(de)(de)(de)(de)，這(zhe)樣也就達到了節(jie)水(shui)(shui)的(de)(de)(de)(de)(de)目(mu)的(de)(de)(de)(de)(de)，所(suo)以未來脫膠機(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)首(shou)要目(mu)的(de)(de)(de)(de)(de)就是(shi)在節(jie)水(shui)(shui)上做文章，通(tong)(tong)過整合后的(de)(de)(de)(de)(de)噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)工(gong)藝槽(cao)，加(jia)(jia)之噴(pen)(pen)淋(lin)(lin)所(suo)使用的(de)(de)(de)(de)(de)清洗(xi)劑來實現該目(mu)的(de)(de)(de)(de)(de)。
（2）減少設備(bei)的(de)占地面(mian)積。脫膠(jiao)機所選配的(de)工藝(yi)部(bu)分較多，如何(he)更(geng)好(hao)利用空(kong)間來整(zheng)合工藝(yi)成了一(yi)個(ge)重(zhong)要(yao)的(de)發展方向，通過(guo)多臺機器對某個(ge)工藝(yi)裝置的(de)共用也是一(yi)個(ge)很好(hao)的(de)解決辦法(fa)。
（3）減(jian)少(shao)設備的(de)(de)(de)(de)人為(wei)操作。對脫膠機進行前后工藝的(de)(de)(de)(de)接口設置(zhi)來(lai)實(shi)現整(zheng)條線的(de)(de)(de)(de)自動(dong)化操作。對前道(dao)的(de)(de)(de)(de)線鋸和(he)后道(dao)的(de)(de)(de)(de)濕片(pian)分離以(yi)及硅(gui)片(pian)清(qing)洗進行全面的(de)(de)(de)(de)整(zheng)合是(shi)減(jian)少(shao)人為(wei)干預的(de)(de)(de)(de)一個有(you)效舉(ju)措，并可(ke)以(yi)實(shi)現全面的(de)(de)(de)(de)過程(cheng)監(jian)控，對所有(you)的(de)(de)(de)(de)清(qing)洗件進行編(bian)碼(ma)，做到(dao)可(ke)追溯的(de)(de)(de)(de)問題(ti)查(cha)詢(xun)，將硅(gui)片(pian)生產的(de)(de)(de)(de)一個重要參數“碎片(pian)率”控制在最低(di)的(de)(de)(de)(de)范圍(wei)內，會大(da)大(da)減(jian)少(shao)硅(gui)片(pian)的(de)(de)(de)(de)生產成本。
（4）增加設(she)(she)(she)備的(de)(de)自清潔(jie)功能。脫膠機是(shi)硅片生(sheng)產過程中很臟(zang)的(de)(de)一個環(huan)節，通過對廠(chang)家生(sheng)產過程的(de)(de)觀(guan)察，設(she)(she)(she)備的(de)(de)維(wei)護是(shi)保證設(she)(she)(she)備正常(chang)運(yun)轉的(de)(de)一個關鍵因素，而設(she)(she)(she)備的(de)(de)自清潔(jie)功能也是(shi)減(jian)少維(wei)護時(shi)(shi)間(jian)的(de)(de)一個辦法，其重要的(de)(de)作用就是(shi)減(jian)少維(wei)護時(shi)(shi)間(jian)，延(yan)長元器件(jian)的(de)(de)使用壽命，降低生(sheng)產成本。
6 結束語
硅片(pian)(pian)脫膠環節是(shi)一個看似簡單而又牽扯到很多物理和化(hua)學問(wen)題的(de)(de)(de)一個工藝過程(cheng)，隨著(zhu)未來科學技術的(de)(de)(de)發展，工藝技術的(de)(de)(de)革(ge)新，自(zi)動化(hua)的(de)(de)(de)脫膠設(she)備也將隨之(zhi)改(gai)變，改(gai)變的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)必(bi)將是(shi)智能化(hua)和精準(zhun)化(hua)，更高的(de)(de)(de)清潔度，更低的(de)(de)(de)能耗和碎片(pian)(pian)率是(shi)衡量(liang)一臺好設(she)備的(de)(de)(de)根(gen)本指標。