零部件(jian)分(fen)類：
l模(mo)組件：分為(wei)EFEM（傳送模塊）、傳送腔體、反應腔體，還有部署設(she)備（氣柜(ju)、電柜(ju)）、清洗組件、冷卻(que)組件（CM）。
l零部件(jian)：
1）金屬件：一(yi)般(ban)包括鋁(lv)錠（純(chun)鋁(lv)，用(yong)作(zuo)腔(qiang)體）、不銹鋼（用(yong)作(zuo)骨架(jia)）、鋁(lv)合金為原料制作(zuo)的產品，目(mu)前國產化率最高。
2）非金屬件：陶瓷件、石英(ying)件、石墨。
3）氣柜：主要用(yong)世偉洛(luo)克(ke)的(de)產品；其中的(de)氣體管(guan)路等配件(jian)主要用(yong)的(de)SMC、VAT的產(chan)品。氣柜產(chan)品有的是廠家(jia)自己制(zhi)作(zuo)的，有的是委托下游廠商制(zhi)作(zuo)的，例如富士金(jin)、VAT、UCT。
4）儀表類(lei)：主要是流量(liang)計(ji)，目前主要用(yong)SMC和日本津市的多一些。
5）射頻電源：主要用的(de)MKS產品。
6）閥門：主要用的VAT和SMC，VAT的(de)產品是用的(de)最多(duo)(duo)的(de)，國內也是用這兩家多(duo)(duo)一些。但是應材的(de)產品是自(zi)己定制的(de)，不采用現有的(de)模(mo)塊。
7）泵(beng)：常用的(de)(de)就是(shi)(shi)德國普旭和愛德華，愛德華用的(de)(de)是(shi)(shi)最(zui)多的(de)(de)。
8）管路連接(jie)：與氣(qi)柜連接(jie)的(de)管路主要是(shi)四家(jia)的(de)產品，MKS、VAT、UCT、富士金。
國(guo)(guo)產化進(jin)度(du)：目前不論是(shi)國(guo)(guo)內還(huan)是(shi)國(guo)(guo)外設(she)備廠(chang)商都(dou)是(shi)用的(de)上面(mian)這些廠(chang)商的(de)產品(pin)(pin)，很少(shao)用國(guo)(guo)內沒有認證的(de)零部件(jian)產品(pin)(pin)。除了金屬加(jia)工件(jian)這種常見(jian)的(de)產品(pin)(pin)外，其他的(de)氣(qi)體(ti)管路、氣(qi)柜、儀(yi)表、電源、閥門、泵之類的(de)，都(dou)是(shi)用的(de)國(guo)(guo)際大品(pin)(pin)牌(pai)。
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