隨著科技的快速發展，各行業公司發明了各式各樣的電子電器產品，在產品快速更替的浪潮中，各種產品正在迅速的往體積小型化，功能全面化發展，在科技高速發展的步伐中，同時對半導體器件的小型化，品種多樣化，功能全面化的前所未有的挑戰，近年來國內半(ban)導體制(zhi)造(zao)產能不斷擴張，半(ban)導體設備廠商(shang)加速成長。我們認(ren)為下游(you)發展將拉動上游(you)本地化(hua)配套需(xu)求，半(ban)導體設備零部件(jian)迎來高增長階(jie)段。
半導體(ti)設備零部件包含(han)密封圈、EFEM、射頻(pin)電(dian)源、靜電(dian)吸(xi)盤、硅電(dian)極、真空泵、氣體(ti)流量(liang)計、噴(pen)淋(lin)頭等產(chan)品，可分為機(ji)械(xie)類(lei)(lei)、電(dian)氣類(lei)(lei)、機(ji)電(dian)一體(ti)類(lei)(lei)、光學(xue)類(lei)(lei)等類(lei)(lei)別
半(ban)導(dao)體(ti)設備(bei)零部件存(cun)在一定技術壁壘，要求相關企業(ye)具備精密加工、表面處理等能力，認證過程也較為復雜。尤其是在機械手、真空規、部分光學類零部件等領域，國內企業和海外頭部企業仍然存在顯著的技術差距。國內企業在鈑金件、金屬件、腔體等機械類零部件領域已經完成了一定程度的國產化，相較于一般(ban)的(de)機械設(she)備零部件，半導(dao)體設備零部(bu)件通常有著精度高、批量小、多(duo)品(pin)種、尺寸特(te)殊、工藝(yi)復雜、要求較高等(deng)特(te)點，需要兼顧強度、應變、抗腐蝕、電(dian)子特(te)性、電(dian)磁特(te)性、材料純度等(deng)復合功能要求，對廠商(shang)有著技術方面的挑戰。
例如中微公司生(sheng)產一(yi)臺(tai)刻(ke)蝕(shi)機涉(she)及的過程包(bao)括(kuo)但不限于：
1）需要采購(gou)EFEM、機械(xie)手等零部件進行晶圓的(de)傳遞，EFEM、機械(xie)手通常是以集成(cheng)度較高的(de)模組(zu)形式采購(gou)自(zi)Rorze等公司，而后(hou)由中微公司將其(qi)組(zu)裝為傳輸系統；
2）需要采購(gou)反應腔體、噴淋頭、邊緣(yuan)環、射頻發生器、螺絲、螺帽等(deng)零部(bu)件(jian)完成反應系統的(de)組裝，這些零部(bu)件(jian)通常是以集成度較低(di)的(de)零件(jian)的(de)形式采購(gou)自靖江先鋒、MKS等(deng)公(gong)司(si)；
3）需要采購氣體輸送相關的零部件，這些零部件通常是以系統的形式來自Ultra Clean Technology、Compart Systems等公司。
通過以上(shang)的例子，我們(men)可以看出半(ban)導體設(she)備公司采購的(de)(de)零(ling)(ling)部件種類繁多(duo)，既(ji)會(hui)采購一(yi)(yi)些(xie)集(ji)(ji)成度較高的(de)(de)模組、系統，其后(hou)續只要完(wan)成簡單的(de)(de)安裝過程即可；也會(hui)采購一(yi)(yi)些(xie)集(ji)(ji)成度較低的(de)(de)零(ling)(ling)件，由(you)自己組裝為更加(jia)復雜的(de)(de)模組乃至系統。這(zhe)些(xie)零(ling)(ling)部件既(ji)包括螺絲(si)、螺帽、芯片、線路、工業電(dian)腦等標準品(pin)，也包括腔體、鈑金件等定制品(pin)。理論上，Texas Instruments等公司出品的模擬芯片有可能被用(yong)于(yu)(yu)半導(dao)(dao)體(ti)設(she)備生(sheng)產(chan)，屬于(yu)(yu)半導(dao)(dao)體(ti)設(she)備零部(bu)件范疇。但本篇報告為(wei)方便討論，主要聚(ju)焦于(yu)(yu)這(zhe)樣(yang)幾類公司：1）生產(chan)(chan)的零部件是定制品(pin)(pin)或偏(pian)向于(yu)定制品(pin)(pin)，應用(yong)(yong)于(yu)半導體設(she)備(bei)中，比(bi)如華亞智能（主(zhu)要(yao)(yao)(yao)生產(chan)(chan)鈑金件）、新萊應材（主(zhu)要(yao)(yao)(yao)生產(chan)(chan)腔體、閥）；2）生產(chan)(chan)的零部件是標準(zhun)品(pin)(pin)或偏(pian)向于(yu)標準(zhun)品(pin)(pin)，既可以應用(yong)(yong)于(yu)其他機械設(she)備(bei)，也可以應用(yong)(yong)于(yu)半導體設(she)備(bei)，但由于(yu)應用(yong)(yong)于(yu)半導體設(she)備(bei)對產(chan)(chan)品(pin)(pin)要(yao)(yao)(yao)求較高，全球只有少數幾家企(qi)業能夠(gou)生產(chan)(chan)符合要(yao)(yao)(yao)求的產(chan)(chan)品(pin)(pin)，比(bi)如VAT（主(zhu)要(yao)(yao)(yao)生產(chan)(chan)真空(kong)閥）、Zeiss（主(zhu)要(yao)(yao)(yao)生產(chan)(chan)鏡頭組）。
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